在晶圆厂中,“hold”不是“拿着”,也不是“暂停”这么简单。

什么是Hold?

Hold 指的是:

某个批次、设备,工序或材料在加工过程中出现异常或需等待确认时,被

强制中止其流片或使用流程

通俗一点说:

Hold = 按下暂停键,在Hold状态下,禁止继续加工,必须人工确认。

晶圆厂高频词汇(3)-hold_芯片制造

为什么要hold?

1,防止异常流片,避免批量报废。如果不Hold,晶圆继续流片,等到后段发现问题,可能整个lot报废,损失巨大。

2,明确责任,系统记录是谁Hold的,什么时间,什么原因,便于追溯和问题解决。

典型的Hold场景?

类型

场景

工序  Hold

工艺异常 / spec变化 / 等待验证结果 / 等客人回复等场景

设备 Hold

设备维修、维护中等场景

材料 Hold

化学品异常等

谁来hold?

场景

通常由谁发起Hold

工艺异常

PE(工艺工程师)

设备故障/PM

EE(设备工程师)

量测异常

QA / PIE/PE

来料异常

IQC 

Spec更新

PIE / QA

晶圆厂高频词汇(3)-hold_芯片制造_02