欧姆接触的应用举例?

1,CMOS工艺中 Source/Drain 电极

2,DRAM / NAND中wordline、bitline、接触通孔(contact via)等位置需要金属和硅之间欧姆接触

3,BJT(双极型晶体管)中的发射极 / 集电极接触

4,功率半导体(SiC / GaN)器件

等等

什么是欧姆接触?_芯片制造

什么是欧姆接触?

欧姆接触是指金属与半导体(Si、Ge、GaAs、GaN、SiC)之间形成的“低电阻、线性电流-电压关系”的电接触,能让电流自由进出半导体而没有能障。

特点是:阻值很小,像导线一样,电流自由通过

欧姆接触的常见做法?

用重掺杂的半导体与金属接触,例如金属-n+和金属-p+结构。由于有n+、p+层,金属的选择就比较自由,可以考虑工艺上以及使用要求上的问题。

形成金属与半导体接触的方法有许多种,例如蒸发、溅射、CVD,电镀等等 

什么是欧姆接触?_半导体_02