在晶圆厂中,“hold”不是“拿着”,也不是“暂停”这么简单。
什么是Hold?
Hold 指的是:
某个批次、设备,工序或材料在加工过程中出现异常或需等待确认时,被
强制中止其流片或使用流程。
通俗一点说:
Hold = 按下暂停键,在Hold状态下,禁止继续加工,必须人工确认。
为什么要hold?
1,防止异常流片,避免批量报废。如果不Hold,晶圆继续流片,等到后段发现问题,可能整个lot报废,损失巨大。
2,明确责任,系统记录是谁Hold的,什么时间,什么原因,便于追溯和问题解决。
典型的Hold场景?
类型 | 场景 |
工序 Hold | 工艺异常 / spec变化 / 等待验证结果 / 等客人回复等场景 |
设备 Hold | 设备维修、维护中等场景 |
材料 Hold | 化学品异常等 |
谁来hold?
场景 | 通常由谁发起Hold |
工艺异常 | PE(工艺工程师) |
设备故障/PM | EE(设备工程师) |
量测异常 | QA / PIE/PE |
来料异常 | IQC |
Spec更新 | PIE / QA |