欧姆接触的应用举例?
1,CMOS工艺中 Source/Drain 电极
2,DRAM / NAND中wordline、bitline、接触通孔(contact via)等位置需要金属和硅之间欧姆接触
3,BJT(双极型晶体管)中的发射极 / 集电极接触
4,功率半导体(SiC / GaN)器件
等等
什么是欧姆接触?
欧姆接触是指金属与半导体(Si、Ge、GaAs、GaN、SiC)之间形成的“低电阻、线性电流-电压关系”的电接触,能让电流自由进出半导体而没有能障。
特点是:阻值很小,像导线一样,电流自由通过
欧姆接触的常见做法?
用重掺杂的半导体与金属接触,例如金属-n+和金属-p+结构。由于有n+、p+层,金属的选择就比较自由,可以考虑工艺上以及使用要求上的问题。
形成金属与半导体接触的方法有许多种,例如蒸发、溅射、CVD,电镀等等 。